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光谱共聚焦探头

TS-CCS 系列光谱共聚焦探头是一系列高性能、低成本、大量程的光谱共聚焦位移传感器探头，可应用于半导体、涂布、薄膜和工业自动化等领域。除标准化产品外，觉芯可提供其他量程和精度的探头和传感器模组。

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产品描述

参数

光谱共聚焦探头

◆ 特点

• 非接触式光学共焦测量技术, 具有超高分辨率及同轴测量不易遮挡的特性
• 探头结构轻巧，不含任何电子元件，不受环境干扰影响
• 采用白光( 可见光) 光源, 安全防护要求低
• 独特厚度测量算法, 可测量透明、半透明材质的厚度或间隙

◆ 优势

• 稳定测量各类材质 , 例如金属／陶瓷／镜面／玻璃等

• 适用于各种工件形貌（包含深孔／斜面／弧面）的特征尺寸测量 , 例如高度／段差／厚度／

平面度／轮廓度等

• 高温高压等严苛操作条件下亦能正常使用

• 测头结构轻巧 , 易整合于各行业的自动化测量应用

◆ 产品系列与性能指标

¹量程中点距离镜筒前端的长度

²测量量程中心静止工件时，输出位移的 1000 次均方根误差（无信号平均）

³ 测量量程中心静止工件时，经过 10 次移动平均，输出位移的 1000 次均方根误差

⁴ 测量量程中心静止工件时，经过 512 次移动平均，输出位移的 1000 次均方根误差

⁵ 针对镜面标准件于校准后进行满量程测量时的最大误差值（无信号平均）。所有数据在恒定温度下测量镜面标准件得到；测量不同物体时性能可能会发生变化

⁶ 量程中心的理论光斑直径

⁷ 量程中心的数值孔径

⁸指镜面全反射材质工件的最大收光角，一般漫反射工件可达 80°

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光谱共聚焦探头

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