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光谱共聚焦探头

TS-CCS 系列光谱共聚焦探头是一系列高性能、低成本、大量程的光谱共聚焦位移传感器探头,可应用于半导体、涂布、薄膜和工业自动化等领域。除标准化产品外,觉芯可提供其他量程和精度的探头和传感器模组。
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参数
光谱共聚焦探头
TS-CCS 系列光谱共聚焦探头是一系列高性能、低成本、大量程的光谱共聚焦位移传感器探头,可应用于半导体、涂布、薄膜和工业自动化等领域。除标准化产品外,觉芯可提供其他量程和精度的探头和传感器模组。
 
特点
• 非接触式光学共焦测量技术, 具有超高分辨率及同轴测量不易遮挡的特性
• 探头结构轻巧,不含任何电子元件,不受环境干扰影响
• 采用白光( 可见光) 光源, 安全防护要求低
• 独特厚度测量算法, 可测量透明、半透明材质的厚度或间隙
 
优势
• 稳定测量各类材质 , 例如金属/陶瓷/镜面/玻璃等
• 适用于各种工件形貌(包含深孔/斜面/弧面)的特征尺寸测量 , 例如高度/段差/厚度/
平面度/轮廓度等
• 高温高压等严苛操作条件下亦能正常使用
• 测头结构轻巧 , 易整合于各行业的自动化测量应用
 
产品系列与性能指标
量程中点距离镜筒前端的长度
2 测量量程中心静止工件时,输出位移的 1000 次均方根误差(无信号平均)
3 测量量程中心静止工件时,经过 10 次移动平均,输出位移的 1000 次均方根误差
4 测量量程中心静止工件时,经过 512 次移动平均,输出位移的 1000 次均方根误差
5 针对镜面标准件于校准后进行满量程测量时的最大误差值(无信号平均)。所有数据在恒定温度下测量镜面标准件得到;测量不同物体时性能可能会发生变化
6 量程中心的理论光斑直径
7 量程中心的数值孔径
8 指镜面全反射材质工件的最大收光角,一般漫反射工件可达 80°
关键词:
光谱共聚焦探头
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