大面积大角度二维扫描振镜 快轴扫描频率 800 Hz 慢轴工作模式 线性扫描，实时角度反馈 慢轴最大光学扫描角 27 degree 慢轴扫描频率 0-20 Hz 外形尺寸 51.4×34×21.6 （不含安装耳） mm 驱动电压 ± 14 V 负载电阻 66 Ω 功耗 720 mW 工作温度 -40~105 ℃   TS-MM-D6型大角度二维扫描振镜 TS-MM-D6型模组是一款基于电磁驱动原理的大镜面、双轴栅式MEMS扫描模组。它采用了独特的MEMS驱动技术，能够提供超大扫描角度的同时保证较大反射镜面面积。芯片内部集成有角度实时反馈和温度测量功能，出厂提供每只产品的温度标定曲线。   6.5×4.5mm椭圆镜面 65°大光学扫描角 双轴栅式扫描 集成实时角度反馈     数值 单位 镜面尺寸（椭圆形） 6.5(F)×4.5(S) mm 镜面反射率 ≥96%   反射光波的波长范围 700-2000 nm 快轴工作模式 正弦扫描，实时角度反馈 快轴最大光学扫描角 65 degree 快轴扫描频率 700 Hz 慢轴工作模式 线性扫描，实时角度反馈 慢轴最大光学扫描角 65 degree 慢轴扫描频率 0-20 Hz 外形尺寸 39×23×13.1 mm 驱动电压 ± 3.1 V 负载电阻 42 Ω 功耗 50 mW 工作温度 -40~105 ℃