产品分类
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大面积大角度二维扫描振镜
快轴扫描频率
800
Hz
慢轴工作模式
线性扫描，实时角度反馈
慢轴最大光学扫描角
27
degree
慢轴扫描频率
0-20
Hz
外形尺寸
51.4×34×21.6
（不含安装耳）
mm
驱动电压
± 14
V
负载电阻
66
Ω
功耗
720
mW
工作温度
-40~105
℃
TS-MM-D6型大角度二维扫描振镜
TS-MM-D6型模组是一款基于电磁驱动原理的大镜面、双轴栅式MEMS扫描模组。它采用了独特的MEMS驱动技术，能够提供超大扫描角度的同时保证较大反射镜面面积。芯片内部集成有角度实时反馈和温度测量功能，出厂提供每只产品的温度标定曲线。
6.5×4.5mm椭圆镜面
65°大光学扫描角
双轴栅式扫描
集成实时角度反馈
数值
单位
镜面尺寸（椭圆形）
6.5(F)×4.5(S)
mm
镜面反射率
≥96%
反射光波的波长范围
700-2000
nm
快轴工作模式
正弦扫描，实时角度反馈
快轴最大光学扫描角
65
degree
快轴扫描频率
700
Hz
慢轴工作模式
线性扫描，实时角度反馈
慢轴最大光学扫描角
65
degree
慢轴扫描频率
0-20
Hz
外形尺寸
39×23×13.1
mm
驱动电压
± 3.1
V
负载电阻
42
Ω
功耗
50
mW
工作温度
-40~105
℃
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