描述
PM101及PM103型压电一维振镜是觉芯电子自主研发的压电驱动型、单轴谐振工作的扫描振镜，采用MEMS工艺制备，拥有长时间的工作寿命。与其他类型的MEMS微镜相比，压电一维振镜具有体积小、驱动电压低、驱动效率高、易于集成角度反馈功能的优点，更加适宜于高频扫描的工作场景，可满足激光扫描、激光投影对高频应用的需求。 芯片内置实时角度反馈和温度测量功能，扫描频率可达105kHz，且支持更高频率的芯片定制开发。
关键词：
压电一维振镜
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