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MEMS一维振镜模组

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产品描述
参数
在深度传感、投影、激光扫描、激光雷达等领域,光束操控部件往往是系统的关键器件。目前的传统器件有 Galvano 振镜、电机等,这些器件面临着体积大、扫描速度慢、功耗高、成本高、寿命短等问题。
MEMS 一维微镜模组是觉芯电子自主研发的一系列小体积、低功耗,不同镜面尺寸和谐振频率的单轴扫描 MEMS 微镜模组,可应用于条形码扫描、高清投影、深度传感 3D 相机及激光雷达等领域,替代传统扫描器件。与传统的光学扫描镜相比,具有扫描速度高、重量轻,体积小,易于大批量生产,
生产成本较低、寿命长的优点。
MEMS 微镜模组可工作在闭环控制下,实时反馈微镜光学角,工作寿命可在 50000 小时以上。
除标准化产品外,觉芯提供其他不同面积和频率的 MEMS 微镜设计定制服务。
 
产品系列
 
性能参数
 
电压角度曲线
TS-MM101                                                                                                                 
       
TS-MM102
TS-MM103
 
电气接口
10pin FPC软排线接口,电气接口定义如下:
使用说明
- 微镜驱动为方波信号,低电压值(Low Voltage)为 0V,占空比 50%
- 微镜的扫描轨迹近似正弦,扫描频率为驱动频率的一半
- 开始驱动微镜时,请通过扫频(Frequency sweep)驱动微镜芯片
- 驱动微镜时,请勿超过微镜允许的最大行程
- 驱动微镜时,请勿超过微镜允许的极限驱动电压
- 驱动微镜时,请勿对微镜的芯片施加其他的力或冲击
- 缺少玻璃封盖时,请勿将微镜放置在恶劣环境中(水汽,灰尘),请勿直接触碰微镜芯片
 
外观尺寸
 
◆ 其它参数
觉芯电子提供 MEMS 微镜评估套装,可根据需求提供接口,并提供完善的开发技术支持服务。
其他参数微镜可根据实际需求设计与定制,欢迎咨询。
 
 
关键词:
MEMS
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