大功率半导体激光器陶瓷热沉
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MEMS一维振镜模组
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产品描述
参数
在深度传感、投影、激光扫描、激光雷达等领域，光束操控部件往往是系统的关键器件。目前的传统器件有 Galvano 振镜、电机等，这些器件面临着体积大、扫描速度慢、功耗高、成本高、寿命短等问题。
MEMS 一维微镜模组是觉芯电子自主研发的一系列小体积、低功耗，不同镜面尺寸和谐振频率的单轴扫描 MEMS 微镜模组，可应用于条形码扫描、高清投影、深度传感 3D 相机及激光雷达等领域，替代传统扫描器件。与传统的光学扫描镜相比，具有扫描速度高、重量轻，体积小，易于大批量生产，
生产成本较低、寿命长的优点。
MEMS 微镜模组可工作在闭环控制下，实时反馈微镜光学角，工作寿命可在 50000 小时以上。
除标准化产品外，觉芯提供其他不同面积和频率的 MEMS 微镜设计定制服务。
产品系列
◆ 性能参数
◆ 电压角度曲线
TS-MM101
TS-MM102
TS-MM103
◆ 电气接口
10pin FPC软排线接口，电气接口定义如下：
◆ 使用说明
- 微镜驱动为方波信号，低电压值（Low Voltage）为 0V，占空比 50%
- 微镜的扫描轨迹近似正弦，扫描频率为驱动频率的一半
- 开始驱动微镜时，请通过扫频（Frequency sweep）驱动微镜芯片
- 驱动微镜时，请勿超过微镜允许的最大行程
- 驱动微镜时，请勿超过微镜允许的极限驱动电压
- 驱动微镜时，请勿对微镜的芯片施加其他的力或冲击
- 缺少玻璃封盖时，请勿将微镜放置在恶劣环境中（水汽，灰尘），请勿直接触碰微镜芯片
◆ 外观尺寸
◆ 其它参数
觉芯电子提供 MEMS 微镜评估套装，可根据需求提供接口，并提供完善的开发技术支持服务。
其他参数微镜可根据实际需求设计与定制，欢迎咨询。
关键词:
MEMS
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